一.無塵室基本的注意事項例舉下列事項:

1. 無塵室(Clean Room)裡面不可以有塵埃、微粒子。
2 .無塵室(Clean Room)內的粉塵、微粒子必須收集清除。
3. 盡可能防止室內微粒子的發生。
4. 室內易堆積粒子的死角部份應盡可能減少。

二.無塵室的水準以清淨度表示之,一般來說,工業用無塵室(ICR)是以美國聯邦規格No2096 為規範,無菌室則適用美國太空總署規格要旨。
 
《表一》美國聯邦規格209b要旨
無塵室級別
微粒子
壓力
溫度
濕度
氣流
照度
粒徑(μm) 累積粒子數(個/ft3)
(mmAq)
(°C)
(%)
換氣回數
(LX)
100 0.5以上 100
13以上
範圍:19.4~25 最低:45

層流方式:0.45m/s±0.1m/s


亂流方式:>=20回/小時

1,080~1,620
1,000 0.5以上
5以上
1,000
10
設定值:22.2 最低:30
10,000 0.5以上
5以上
10,000
65
誤差:±2.8 誤差:±10
100,000 0.5以上
5以上
100,000
700
特殊要求時:±0.25 特殊要求時:±5
 
《表二》美國太空總署規格要旨(NHB5340.2)
無塵室級別
微粒子CR
生物粒子BCR
壓力
溫度
濕度
氣流
照度
粒徑(μm) 累積粒子數(個/ft3) 浮游量(個/ft3) 沉降量(個/ft3)
(mmAq)
(°C)
(%)
換氣回數
(LX)
100 0.5以上 100 0.1 1,200
13以上
指定值
45~50

層流方式:0.45m/s±0.1m/s


亂流方式:>=20回/小時

1,080~
1,620
10,000 0.5以上
5以上
10,000
65
0.5 6,000
100,000 0.5以上
5以上
100,000
700
2.5 30,000
 
三. 空調方式
1.垂直層流:清境空氣自屋頂至地板的流通方式。
優點
缺點
  1. 效果完全。
  2. 不易為作業人員及工作狀態所影響。
  3. 開始運轉後即刻便成穩定狀態。
  4. 粉塵的堆積及再飄浮極少。
  5. 管理容易。
  1. 須注意天花板的無效空間如照明等(防止亂流)。
  2. 換過濾器較麻煩。
  3. 設備費用非法高。
  4. 隔間的擴充比較困難。
2. 水平層流:清淨空氣由天花板80%以上吹出,壁板40%以上吸入,天花板亦可。
優點
缺點
  1. 開始運轉後即刻便成穩定狀態。
  2. 構造簡單
  1. 上游的影響會在下游出現。
  2. 人員及機器的配置及管理須注意。
  3. 設備費用非常高。
  4. 隔間的擴充比較困難。
3. 亂流:清淨空氣過濾器吹出口,由地板附近吸入。Class 10,000~100,000適用
優點
缺點
  1. 構造簡單。
  2. 設備費用低。
  3. 隔間的擴充比較容易。
  4. 若再加用無塵台則可確保高潔淨度。
  1. 由於氣流的亂流污染粒子,有可能在室內循環。
  2. 人員及機器的配置及管理須注意。
  3. 到穩定狀態須要一段時間。